V CEMMu so štirje vrstični elektronski mikroskopi: JEOL JSM-5800 (locirani na IJS, Podgorica), JEOL JSM-7600F, Thermo Fisher Verios 4G HP ter Thermo Fisher Quanta 650.
Od leve proti desni: JSM-5800, SE slika LaB6, SE slika W izvora, oko muhe (avtorica slik: Maja Koblar).
JEOL JSM-5800 (navodila JSM-5800_2018 ) *IJS, Podgorica
SE, BE detektorja
Oxford Instruments ISIS 300 EDS
Digitalno zajemanje posnetkov
Od leve proti desni: JSM-7600F, SE slika ZnO (avtorica Mateja Podlogar, IJS), SE slika MoS2, BSE sliki keramike in praha.
Jeol JSM-7600F (navodila JSM-7600F_2018-04 )
In-Lens Thermal FEG
SEI, LEI detektorja
BE detektorja (RIBE, RBEI)
INCA Oxford 350 EDS SDD 20 mm2
INCA Wave 500 spektrometer
XENOS XeDraw 2 e-litografija
EBSD, Channel 5, Oxford Instruments
Vgrajen r-filter za kombinacijo SE in BE signala
predkomora
IR CCD kamera
Thermo Fisher Verios 4G HP
Schottky FEG z monokromatorjem piezo premiki mize motorizirana in avtomatska predkomoro Nav-Cam v komori IR CCD kamera ETD v komori TLD v koloni MD v koloni za BSE ICD v koloni za BSE DBS v komori za BSE STEM 3+ (BF, DF, HAADF) EDS, Oxford Instruments, AZtec Live, Ultim Max SDD 65 mm2
Od leve proti desni: Quanta 650, SE slika “zrcala” kjer se vidijo detektorji v komori, SE slike delvev, vlaken in keramike.
Thermo Fisher Quanta 650 ESEM
diferencialno črpanje, ki omogoča tri vakuumske režime dela (HiVac, LoVac ter ESEM mode) wolfram termionski izvor velika komora, premik po Z smeri 65 mm Nav-Cam IR CCD kamera ETD v komori CBSD na objektni leči LFD za delo v nizkem vakuumu GSED za delo v ESEM območju dve PLA zaslonke (EDS v LoVac) EDS, Oxford Instruments, AZtec Live, Ultim Max SDD 40 mm2